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第485章 一种基于激光诱导气体等离子体技术

新成立的华辰微电子,位于庐州,与辰芯微(庐州)工厂一路之隔。

黄小婷同华威公司安排的副手纪年华在新年过去,迅速地拉起来了一支研发队伍。

江奕辰率先带着设计人员对EUV光刻机开展总体设计。

模拟+感应,两大S级技能同时开启。

结合此前改造光刻机曝光系统过程中,对光刻机结构的掌握,江奕辰花了一个月时间,就带队拿出了一个相对比较可行的设计图。

新型EUV光刻机设计,摆脱了阿斯麦那种激光光源轰击锡靶产生极紫外光的模式,转道选择了一种基于激光诱导气体等离子体技术。

这个技术,是江奕辰S级物理、材料,以及接连数月光电领域超强学习,触发一次万倍暴击实现了S级的光电学带来的技术质变。

更是模拟+感应两大S级技能联合作用发挥的巨大成果。

在设计过程中,江奕辰

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