辰芯微。
钟国栋也专门到了生产车间,穿着防尘服,进了车间看了半天。
虽然他不太懂硬件技术,但也知道这一次的问题有些大。
出了车间,就召开了会议研判。
黄小婷更是愁眉苦脸,像是霜打的茄子一样。
因为二手光刻机,是她牵头去买的,如今接二连三的出问题,还难以解决,成为了束缚辰芯微发展的绳子。
钟国栋是找阿斯麦买的197nm干式光刻机,因为是新设备,目前来说,也没有出啥问题。
“大伙说说,有什么解决办法?”
副总工孔连华先开口道,“目前出问题的,是二手光刻机的光源稳定性问题。这台设备运行时限有些长了,在实际运行中,其光源输出强度波动较大,导致曝光不均匀,严重影响光刻图案的精度和一致性,从而导致良品率大幅下降。”
“我们已经尝试对光源系�
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